童话里的爱情，那么煽人泪下。
一KrF光刻胶是什么
光刻胶根据不同的曝光光源分为不同的类型曝光光源从宽谱紫外线发展到I线（365nm）KrF线（248nm）ArF线（193nm）以及EUV（13.5nm）光源而不同的光源要求使用不同的光刻胶KrF光刻胶就是运用KrF（248nm）曝光光源时所需要的光刻胶KrF光刻胶主要应用于0.13m以上线宽包含离子注入层抗刻蚀层等多种工艺中
二arf光刻胶是什么
ArF光刻胶是半导体光刻胶的一种属于高端光刻胶产品用来制造12英寸大硅片（硅晶圆）在光刻胶产品中半导体光刻胶技术壁垒最高在半导体光刻胶产品中ArF光刻胶是技术含量最高的产品之一ArF光刻胶是第四代光刻胶行业进入技术壁垒高全球量产企业数量少
三krf光刻胶和arf光刻胶区别
krF光刻胶与ArF光刻胶都主要用于半导体领域二者最大区别是光刻胶的光源波长不同其中krf波长为248nmarf波长为193nmarf光刻胶的分辨率更好技术含量更高arf和krf都属于深紫外光范畴也都是duv光刻机应用光源但是光源技术上相差一代另外由于光源波长不同krf光刻胶和arf光刻胶也不能通用
