光刻胶怎么保存 光刻胶使用和储存注意事项

一光刻胶怎么保存

1温度光刻胶应存放在低温环境下一般建议存放在-20℃以下的冰箱中避免光刻胶受热变质同时光刻胶在存放和使用过程中应避免受到温度变化的影响以免影响其性能和质量

2光照光刻胶应避免直接暴露在强光下以免光刻胶受到光照而失去灵敏度因此在存放和使用光刻胶时应尽量避免光照可以使用黑色遮光袋或黑色遮光箱进行保护

3湿度光刻胶应存放在干燥的环境中避免受潮因为潮湿的环境会影响光刻胶的性能和质量甚至会导致光刻胶失效因此在存放和使用光刻胶时应尽量避免受潮可以使用密封袋或密封容器进行保护

4震动光刻胶应避免受到剧烈的震动和振动以免影响其性能和质量因此在存放和使用光刻胶时应尽量避免受到震动和振动可以使用泡沫箱或其他缓冲材料进行保护

二光刻胶使用和储存注意事项

1保存

光刻胶中的光敏组分是非常脆弱的除了有温度的要求外对于储存时间和外包装材料有很严格的要求一般使用棕色的玻璃瓶包装再套上黑色塑料袋

光刻胶的保存期限一般为6个月至1年左右具体时间取决于光刻胶的种类和保存条件因此在存放和使用光刻胶时应注意光刻胶的保存期限避免使用过期光刻胶

2光刻胶的涂布温度

光刻胶涂布温度一般要和室温相同原因是与室温相同可以大减少光刻胶的温度波动从而减少工艺波动而净化间室温一般是23度所以光刻胶涂布温度一般为23度一般在旋涂的情况下高于会中间厚低于会中间薄同时涂布前wafer也需要冷板保证每次涂布wafer的温度一致

3涂布时湿度的控制

现在光刻胶涂覆工段一般都与自动纯水清洗线连在一起很多时候都只考虑此段的洁净度而疏忽了该段的湿度控制使得光刻胶涂覆的良品率比较低在显影时光刻胶脱落严重起不到保护阻蚀的效果

4涂胶后产品的放置时间的控制

在生产设备出现故障等特殊情况下涂完光刻胶的产品需要保留保留的时间一般不超过8小时曝光前如已被感（即胶膜已失效）不能作为正品需返工处理

5前烘温度和时间的控制

前烘的目的是促使胶膜内溶剂充分挥发使胶膜干燥以增强胶膜与基板表面的粘附性和胶膜的耐磨性曝光时掩模版与光刻胶即使接触也不会损伤光刻胶膜和沾污掩模膜同时只有光刻胶干净在曝光时光刻胶才能充分地和光发生反应同时注意前烘的温度不能过高过高会造成光刻胶膜的碳化从而影响光刻效果一般情况下前烘的温度取值比后烘坚膜温度稍低一些时间稍短一些

6显影条件的控制

显影时必须控制好显影液的温度浓度及显影的时间在一定浓度下的显影液中温度和时间直接影响的速度若显影时间不足或温度低则感光部位的光刻胶不能够完全溶解留有一层光刻胶在刻蚀时这层胶会对膜面进行保护作用使应该刻蚀的膜留下来若显影时间过长或温度过高显影时未被曝光部位的光刻胶也会被从边缘里钻溶使图案的边缘变差再严重会使光刻胶大量脱落形成脱胶