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光刻胶的组成成分有哪些 光刻胶的原理

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光刻胶的组成成分有哪些

光刻胶主要由感光剂(光引发剂)聚合剂(感光树脂)溶剂与助剂构成

1光引发剂是光刻胶的最关键成分对光刻胶的感光度分辨率起着决定性作用

2感光树脂用于将光刻胶中不同材料聚合在一起是构成光刻胶的骨架决定光刻胶包括硬度柔韧性附着力等基本属性

3溶剂是光刻胶中最大成分目的是使光刻胶处于液态但溶剂本身对光刻胶的化学性质几乎没影响

4助剂通常是专有化合物由各家厂商独自研发主要用来改变光刻胶特定化学性质

光刻胶的原理

1光敏性原理

光刻胶的基本原理是光敏材料暴露在紫外线下光线将光敏材料中的分子激活使其发生化学反应使光敏胶发生预设的变化根据光线能量的不同光刻胶可分为UV光刻胶和深紫外光刻胶UV光刻胶用于制造精度要求低的电子元件而深紫外光刻胶则用于制造更微小的元器件

2光学成像原理

光刻胶是通过光学成像原理来实现预期的纹理结构当光照射在光刻胶表面时会通过掩膜上的白色区域透过黑色区域达到将图案映射到光刻胶上的目的通过开发过程只剩下光刻胶上所需的微型器件的部分区域即可形成要制造的微型器件

3选择适合的溶剂

光刻胶的成分包括光敏材料单体溶剂和剂量反应关键因素之一是选择适合系统的溶剂溶剂是优化反应速率和接触角的关键因素正确的溶剂选择可确保强大的粘附力和最小的溶液浸透时间

2024-08-12
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