_____.Ｅ。因为你，我拒绝所有，你却什么也不知道。
一靶材黑化中毒的原因
靶材中毒是由于在溅射过程中正离子在靶材表面积累没有被中和结果目标表面上的负偏压逐渐减小最后目标中毒干脆停止工作
影响靶中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例反应气体过量就会导致靶中毒反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露金属表面此消彼长的过程
如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率化合物覆盖面积增加在一定功率的情况下参与化合物生成的反应气体量增加化合物生成率增加如果反应气体量增加过度化合物覆盖面积增加如果不能及时调整反应气体流量化合物覆盖面积增加的速率得不到抑制溅射沟道将进一步被化合物覆盖当溅射靶被化合物全部覆盖的时候靶完全中毒在靶面上沉积一层化合金属膜使其很难被再次反应
二靶材中毒现象
1正离子堆积靶中毒时靶面形成一层绝缘膜正离子到达阴极靶面时由于绝缘层的阻挡不能直接进入阴极靶面而是堆积在靶面上容易产生冷场致弧放电---打弧使阴极溅射无法进行下去
2阳极消失靶中毒时接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜到达阳极的电子无法进入阳极形成阳极消失现象
三靶材中毒怎么解决
1使用中频电源或射频电源代替直流电源
2采用闭环控制控制反应气体的进气量
3采用双靶材
4控制镀膜模式的变化镀膜前采集靶中毒的滞后效应曲线使进气流量控制在靶中毒前工艺始终处于沉积速率急剧下降前的模式
为减少靶材中毒技术人员常采用以下方法
1分别向基板和靶材附近送入反应气体和溅射气体形成压力梯度
2提高排气率
3气体脉冲引入
4等离子监测等