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素小花
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光刻机是谁发明的 世界上第一台光刻机是谁发明的

素小花

爱恋不过是一场高烧,思念是紧跟着的好不了的咳。

品牌型号慕朗迪光刻机系统k12

光刻机是法国人Nicephoreniepce(尼埃普斯)发明的起初是Nicephoreniepce发现了一种能够刻在油纸上的印痕当其出现在了玻璃片上后经过一段时间的暴晒透光的部分就会变得很硬但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉

光刻机(lithography)又名掩模对准曝光机曝光系统光刻系统等是制造芯片的核心装备它采用类似照片冲印的技术把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上光刻机的主要性能指标有支持基片的尺寸范围分辨率对准精度曝光方式光源波长光强均匀性生产效率等分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源光刻系统光刻胶和工艺等各方面的限制对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度曝光方式分为接触接近式投影式和直写式曝光光源波长分为紫外深紫外和极紫外区域光源有汞灯准分子激光器等

2023-04-18
光刻机
光刻机
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