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光学镀膜的镀膜工艺

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光学镀膜的镀膜工艺

光学薄膜在高真空度的镀膜腔中实现常规镀膜工艺要求升高基底温度通常约为300℃而较先进的技术如离子辅助沉积IAD可在室温下进行IAD工艺不但生产比常规镀膜工艺具有更好物理特性的薄膜而且可以应用于塑料制成的基底

图19.11展示一个操作者正在光学镀膜机前抽真空主系统由两个低温泵组成电子束蒸发IAD沉积光控加热器控制抽真空控制和自动过程控制的控制模块都在镀膜机的前面板上

图19.12示出装配在高真空镀膜机基板上的硬件布局两个电子枪源位于基板两边周围是环形罩并被挡板覆盖离子源位于中间光控窗口在离子源的前方图19.13示出真空室的顶部真空室里有含6个圆形夹具的行星系统夹具用于放置被镀膜的光学元件使用行星系统是保证被蒸发材料在夹具区域内均匀分布的首选方法夹具绕公共轴旋转同时绕其自身轴旋转光控和晶控处于行星驱动机械装置的中部驱动轴遮挡晶控背面的大开口通向附加的高真空泵基底加热系统由4个石英灯组成真空室的两边各两个

薄膜沉积的传统方法一直是热蒸发或采用电阻加热蒸发源或采用电子束蒸发源薄膜特性主要决定于沉积原子的能量传统蒸发中原子的能量仅约0.1eVIAD沉积导致电离化蒸汽的直接沉积并且给正在生长的膜增加活化能通常为50eV量级离子源将束流从离子枪指向基底表面和正在生长的薄膜来改善传统电子束蒸发的薄膜特性

薄膜的光学性质如折射率吸收和激光损伤阈值主要依赖于膜层的显微结构薄膜材料残余气压和基底温度都可能影响薄膜的显微结构如果蒸发沉积的原子在基底表面的迁移率低则薄膜会含有微孔当薄膜暴露于潮湿的空气时这些微孔逐渐被水汽所填充

填充密度定义为薄膜固体部分的体积与薄膜的总体积包括空隙和微孔之比对于光学薄膜填充密度通常为0.75~1.0大部分为0.85~0.95很少达到1.0小于l的填充密度使所蒸发材料的折射率低于其块料的折射率

在沉积过程中每一层的厚度均由光学或石英晶体监控这两种技术各有优缺点这里不作讨论其共同点是材料蒸发时它们均在真空中使用因而折射率是蒸发材料在真空中的折射率而不是暴露于潮湿空气中的材料折射率薄膜吸收的潮气取代微孔和空隙造成薄膜的折射率升高由于薄膜的物理厚度保持不变这种折射率升高伴有相应的光学厚度的增加反过来造成薄膜光谱特性向长波方向的漂移为了减小由膜层内微孔的体积和数量所引起的这种光谱漂移采用高能离子以将其动量传递给正在蒸发的材料原子从而大大增加材料原子在基底表面处凝结期间的迁移率

镀膜的其他相关光学型材

镀膜的其他相关光学型材(纯度:99.9%-99.9999%)镀膜的光学型材:高纯氟化物氟化镁、MgF2,氟化镱、YbF3,氟化钇、LaF3,氟化镝、DyF3,氟化钕、NdF3,氟化铒、ErF3,氟化钾、KF,氟化锶、SrF3,氟化钐、SmF3,氟化钠、NaF,氟化钡、BaF2,氟……阅读全文 >>

光学镀膜的基本原理

光学镀膜的基本原理光的干涉在薄膜光学中广泛应用。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜,一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率,以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜。随着激光技术……阅读全文 >>

光学镀膜的介绍及材料

光学镀膜的介绍光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。光学镀膜的材料介绍常见的光学镀膜材料有以下几种:1、氟……阅读全文 >>

镀膜的光学型材:高纯金属类

镀膜的光学型材:高纯金属类(纯度:99.9%-99.9999%)高纯铝,高纯铝丝,高纯铝粒,高纯铝片,高纯铝柱,高纯铬粒,高纯铬粉,铬条,高纯金丝,高纯金片,高纯金,高纯金粒,高纯银丝,高纯银粒,高纯银,高纯银片,高纯铂丝,高纯铪粉,高纯铪丝,高纯铪粒,高纯钨粒,高纯钼粒,高纯单……阅读全文 >>

光学镀膜的概述

光学镀膜的概述镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜,或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性。在可见光和红外线波段范围内,大多数金属的反射率都可达到78%~98%,但不可高于98%。无论是对于CO2激光,采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜,采用锗、砷化……阅读全文 >>

镀膜的光学型材:高纯氧化物

镀膜的光学型材:高纯氧化物(纯度:99.9%-99.9999%)一氧化硅、SiO,二氧化铪、HfO2,二硼化铪,氯氧化铪,二氧化锆、ZrO2,二氧化钛、TiO2,一氧化钛、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二钛、Ti2O3,五氧化三钛、Ti3O5,五氧化二钽、Ta2O5,五氧化二……阅读全文 >>

光学镀膜的折射率介绍

光学镀膜的折射率介绍根据电磁学的基本理论里,提到对于不同介质的透射与反射。若是由介质n1垂直入射至n2反射率=[(n2-n1)/(n1+n2)]^2穿透率=4n1n2/(n1+n2)^2范例讲解:若是空气的折射率是1.0,镀膜的折射率nc(例如:1.5),玻璃的折射率n(例如:1……阅读全文 >>

光学镀膜的厚度

光学镀膜的厚度我们已经知道透光度与镀膜的折射率有关,但是却无关于它的厚度。可是我们若能在镀膜的厚度上下点功夫,会发现反射光A与反射光B相差nc×2D的光程差。如果nc×2D=(N+1/2)λ其中N=0,1,2,3,4,5.....λ为光在空气中的波长则会造成该特定波长的反射光有相……阅读全文 >>

2019-09-06
光学
光学
光学(Optics),是物理学的分支,主要是研究光的现象、性质与应用,包括光与物质之间的相互作用、光学仪器的制作。光学通常研究红外线、紫外线及可见光的物理行为。因为光是电磁波,其它形式的电磁辐射,例如X射线、微波、电磁辐射及无线电波等等也具有类似光的特性。
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