带电清洗起源于二十世纪三十年代。从开始的物理清洗发展的化学清洗，在五十年代，化学带电清洗技术所使用的清洗剂以 F （氟）、 CL （氯） 为主的 二氯甲烷、三、四氯乙烯、、 CFC-113 （氟里昂）等化学 制剂